真空泵密封裝置材料要求

一、真空泵每套密封裝置包括一個動環和一個靜環，一般工況下要求其中一個密封環應為高等級防起泡石墨環，對第二類和第三類密封，另一密封環應為反應燒結碳化硅；對第一類密封，另一米風環允許采用常壓燒結碳化硅。

  對于含有顆粒、高黏度介質和高壓工況，應采用硬對硬的密封端面。一般采用碳化硅對碳化硅。

  密封軸套一般采用316、316L或316Ti等不銹鋼材料。

二、多彈簧宜采用哈氏C-276合金、單彈簧使用316不銹鋼材料。

三、金屬波紋管，B型密封應采用哈氏C-276合金、單彈簧使用316不銹鋼材料。

四、輔助密封圈宜采用氟橡膠材料制作。若因工作溫度和化學兼容性限制不能使用氟橡膠時，可采用全氟橡膠，其最高工作溫度可達290度。

五、合金泵密封端蓋的材料應予密封腔想通，或者采用防腐性能和力學性能更好的材料。提起材料泵的密封端蓋采用316、316L或316Ti等材料，端蓋和密封腔之間采用O型圈密封結構，當溫度超過175度時，應使用柔性石墨填充的304或316不銹鋼纏繞墊圈。

六、簧座、傳動銷、防轉銷和內部定位螺釘等其他零件應采用316或更好的材料。當硬化碳鋼定位螺釘不適用工作環境時，應采用沉淀硬化不銹鋼。