１、真空熱處理：真空熱處理是真空技術與熱處理工藝相結合的產物。由于它具有不氧化、不脫炭、表面光亮、變形量小、無污染和節能等優點，因而發展十分迅速。真空熱處理不僅用于處理活潑難熔金屬，而且在高速鋼、工具鋼、膜具鋼、軸承鋼、耐熱鋼等的淬火、回火、固熔處理和退火方面均有廣泛的用途。例如工具鋼用真空淬火，其變形量鹽浴淬火工具的１／３～１／５，用真空淬火的工具來加工工件，其表面粗糙度優于鹽浴淬火工具１～２級，工具使用壽命可提高３～４倍

２、真空釬焊：真空釬焊主要用于鋁及其合金、高溫合金、難熔金屬、硬質合金、陶瓷等可焊性差的材料的連接。例如氣體分離設備、石油化工設備中的枚式換熱器，他全部由鋁合金材料制成，具有體積小、重量輕、效率高、結構緊湊、耐用等優點。每立方米體積的枚式換熱面積可達１０００米 ２ 以上，與繞管式和列管式換熱器相比，其體積與重量僅占１／４左右，未用真空無釬劑鋁釬焊與過去鹽爐釬爐相比，產品質量好、成本低、生產周期短、無腐蝕、焊后不用清洗，而且省電７５～８０％。由于真空鋁釬焊工藝的成熟和發展，目前國外汽車和飛機所使用的換熱器，大都已采用這種先進工藝。

３、真空涂層刀具：近十年來，利用物理氣相沉積（ＰＶＤ），在高速鋼刀具上鍍Ｔｉｎ十分盛行，北稱之為“刀具革命”。刀具離子鍍的方法很多，其中發展較快的就是電弧離子度，他就是采用電弧放電的方法在固體的陰極靶材上直接蒸發金屬。被蒸發的鈦靶接陰極，真空室為陽極，當觸發電機與陰極靶突然脫離時，于是就引起電弧，在陰極表面產生強烈發光的陰極斑點，于是在這斑點內的材料就瞬時蒸發并電離。電弧離子鍍的主要優點是沉積速率高、無溶池、陰極靶可根據工件形狀在任意方向布置，使夾具大為簡化。通過大量生產試驗表明：涂層刀具的壽命是為鍍刀具的３～８倍，課題高切削速度２５～３０％，特別對于ＨＢ２８０～３２０的難加工材料，Ｔｉｎ涂層更顯示出他優越的性能。